การพัฒนาตัวตรวจความดันบนพื้นฐานของไดอะเฟรมด้วยสารไวแสงชนิด SU-S Development of A Gauge Pressure Sensors Based on SU-8 Photoresist Diaphragm
| Main Author: | กมลรัตน์ บุญประคอง |
|---|---|
| Other Authors: | นิมิต ชมนาวัง, พิทยา ดีกล้า |
| Format: | ARTICLES |
| Language: | Thai |
| Subjects: |
ไดอะเฟรม
กระบวนการลิโธกราฟฟี ตัวตรวจรู้ความดัน ระบบกลไฟฟ้าจุลภาค |
| Tags: |
Add
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| LEADER | 01408nab a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 1017269 | ||
| 003 | Th-MUT | ||
| 008 | 161120s2558||||th | 0 ||tha|d | ||
| 093 | |a TA157 ว7 | ||
| 100 | 0 | |a กมลรัตน์ บุญประคอง | |
| 245 | 1 | 0 | |a การพัฒนาตัวตรวจความดันบนพื้นฐานของไดอะเฟรมด้วยสารไวแสงชนิด SU-S Development of A Gauge Pressure Sensors Based on SU-8 Photoresist Diaphragm |
| 650 | 7 | |a ไดอะเฟรม | |
| 650 | 7 | |a กระบวนการลิโธกราฟฟี | |
| 650 | 7 | |a ตัวตรวจรู้ความดัน | |
| 650 | 7 | |a ระบบกลไฟฟ้าจุลภาค | |
| 700 | 0 | |a นิมิต ชมนาวัง | |
| 700 | 0 | |a พิทยา ดีกล้า | |
| 773 | 0 | |t วิศวสารลาดกระบัง (TA157 ว7) |g ปีที่ 32 ฉบับที่ 4 (ธันวาคม 2558) หน้า 19-24 | |
| 991 | |a ARTICLES |b 1 |c 2016-11-20 00:00:00 |d 2021-09-02 12:08:16 |e mut |f n |g 2016-11-20 |h n |i a |j b |k |l a |m |n a |o |p s |q |r th |s tha |t 2558 |v การพัฒนาตัวตรวจความดันบนพื้นฐานของไดอะเฟรมด้วยสารไวแสงชนิด SU-S Development of A Gauge Pressure Sensors Based on SU-8 Photoresist Diaphragm | ||