การพัฒนาตัวตรวจความดันบนพื้นฐานของไดอะเฟรมด้วยสารไวแสงชนิด SU-S Development of A Gauge Pressure Sensors Based on SU-8 Photoresist Diaphragm
| Main Author: | กมลรัตน์ บุญประคอง |
|---|---|
| Other Authors: | นิมิต ชมนาวัง, พิทยา ดีกล้า |
| Format: | ARTICLES |
| Language: | Thai |
| Subjects: |
ไดอะเฟรม
กระบวนการลิโธกราฟฟี ตัวตรวจรู้ความดัน ระบบกลไฟฟ้าจุลภาค |
| Tags: |
Add
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Appears in: |
วิศวสารลาดกระบัง (TA157 ว7) ปีที่ 32 ฉบับที่ 4 (ธันวาคม 2558) หน้า 19-24 |
|---|