การพัฒนาตัวตรวจความดันบนพื้นฐานของไดอะเฟรมด้วยสารไวแสงชนิด SU-S Development of A Gauge Pressure Sensors Based on SU-8 Photoresist Diaphragm
Main Author: | กมลรัตน์ บุญประคอง |
---|---|
Other Authors: | นิมิต ชมนาวัง, พิทยา ดีกล้า |
Format: | ARTICLES |
Language: | Thai |
Subjects: |
ไดอะเฟรม
กระบวนการลิโธกราฟฟี ตัวตรวจรู้ความดัน ระบบกลไฟฟ้าจุลภาค |
Tags: |
Add
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Login for hold and recall information
See more detail in Description Tab