การปรับสิทธิภาพสูงสุดของโบรอนชนิดต่างๆ ในการยิงฝังประจุชนิด พี สำหรับใช้ในกระบวนการสร้าง มอสทรานซิสเตอร์ = Optimization of boron specirs in implantation p-type for MOS transistor fabrication
Main Author: | นพพล พงษ์พันธุ์จันทรา |
---|---|
Other Authors: | อาจารย์ที่ปรึกษา : สุวัฒน์ โสภิตพันธ์, มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีมหานคร, วิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์ |
Format: | PROJECTS |
Language: | Thai |
Published: |
2547 |
Subjects: |
ใบรอนในการยิงฝังประจุ
|
Tags: |
Add
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Physical Description: |
1 เล่ม ภาพประกอบ |
---|