ผลของความหนาแน่นกำลังดิสชาร์จและการอบต่อโครงสร้างผนึกของฟิล์มวานาเดียมออกไซด์ที่เตรียมโดยเทคนิครีแอคทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง - กมล เอี่ยมพนากิจ